Tiêu chuẩn đầu tiên của phòng sạch là hàm lượng bụi, tức là hàm lượng các hạt bụi lơ lửng trong không khí được khống chế đến mức nào. Nếu ta so sánh một cách hình tượng, đường kính sợi tóc người vào cỡ 100μm, hạt bụi trong phòng có thể có đường kính từ 0,5 đến 50μm (xem hình ảnh so sánh).
Các tiêu chuẩn về phòng sạch lần đầu tiên được đưa ra vào năm 1963 ở Mỹ, và hiện nay đã trở thành các tiêu chuẩn chung cho thế giới. Đó là các tiêu chuẩn quy định lượng hạt bụi trong một đơn vị thể tích không khí. Người ta chia thành các tầm kích cỡ bụi và loại phòng được xác định bởi số hạt bụi có kích thước lớn hơn 0,5μm trên một thể tích là 1 foot khối (ft3) không khí trong phòng.
Số hạt | |||||
Loại | ≥0.1µm | ≥0.2µm | ≥0.3µm | ≥0.5µm | ≥5.0µm |
1 | 35 | 7.5 | 3 | 1 | – |
10 | 350 | 75 | 30 | 10 | – |
100 | – | 750 | 300 | 100 | – |
1000 | – | – | – | 1000 | 7 |
10000 | – | – | – | 10000 | 70 |
100000 | – | – | – | 100000 | 700 |